更新时间:2015-12-16 14:48:42 来源:互联网
品 名 |
纯度 | 密度 | 镀膜优势色 | 形状 | 常规尺寸 | 应用行业 |
钛铝(TiAl)合金靶 | 2N8-4N | 3.6-4.2 | 玫瑰金/咖啡色 | 圆柱形 | 直 径 60/65/95/100*30/32/40/45mm |
装 饰 / 工 具 |
纯铬(Cr)靶 | 2N7-4N | 7.19 | 白色/黑色 | 圆柱形 | ||
纯钛(Ti)靶 | 2N8-4N | 4.51 | 金黄色/枪黑色 蓝色/玫瑰红 |
圆柱形 | ||
纯锆(Zr)靶 | 2N5-4N | 6.5 | 金色 | 圆柱形 | ||
纯铝(Al))靶 | 4N-5N | 2.7 | 银色 | 圆柱形 | ||
纯镍(Ni)靶 | 3N-4N | 8.9 | 金属本色 | 圆柱形 | ||
镍钒(Ni)靶 | 3N | 8.57 | 蓝绿色 | 圆柱形 | ||
纯铌(Nb)靶 | 3N | 8.57 | 白色 | 圆柱形 | ||
纯钽(Ta)靶 | 3N5 | 16.4 | 黑色/紫色 | 圆柱形 | ||
纯钼(Mo)靶 | 3N5 | 10.2 | 黑色 | 圆柱形 |
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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