平板显示器用靶材相关参数

更新时间:2015-12-16 13:38:23    来源:互联网

平板显示器用靶材
Targets For Flat Panel Display

材料(符号)

   

形   状

最大尺寸

氧化锌铝(AZO)

3N5

平面靶

300x110mm

氧化铌(Nb2O5)

3N5

平面靶

300x110mm

二氧化硅(SiO2)

4N

平面靶

1000x300mm

多晶硅(Si)

5N

平面靶

150x150mm

(Nb)

3N

平面靶

1000x300mm

(Ti)

2N5/4N5

平面靶

1500x300mm

(Mo)

3N5

平面靶

800x300mm

(Ta)

3N5

平面靶

1000x300mm

(Cr)

2N5/3N5

平面靶

600x200mm

&镍合金靶

3N

平面靶

1500x300mm

&铝合金靶

4N/5N

平面靶

1500x300mm

 

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